Ang kamahinungdanon sa high-purity gas piping sa mga semiconductor

As semikonduktorug ang mga teknolohiya sa microelectronic molambo padulong sa mas taas nga performance ug mas taas nga integration, mas taas nga mga kinahanglanon ang gibutang sa kaputli sa mga electronic special gas. Ang teknolohiya sa high-purity gas piping usa ka importante nga bahin sa high-purity gas supply system. Kini ang importanteng teknolohiya para sa paghatud sa high-purity gases nga makatuman sa mga kinahanglanon ngadto sa mga gas use point samtang gipadayon ang kalidad.

Ang teknolohiya sa taas nga kaputli sa tubo naglakip sa husto nga disenyo sa sistema, ang pagpili sa mga fitting sa tubo ug mga materyales nga auxiliary, konstruksyon ug pag-instalar ug pagsulay.

01 Kinatibuk-ang konsepto sa mga tubo sa transmisyon sa gas

Ang tanang gas nga taas og kaputli ug taas og kalimpyo kinahanglan nga ipadala ngadto sa terminal gas point pinaagi sa mga pipeline. Aron matuman ang mga kinahanglanon sa kalidad sa proseso para sa gas, kung sigurado ang indeks sa pag-eksport sa gas, mas gikinahanglan nga hatagan og pagtagad ang pagpili sa materyal ug kalidad sa konstruksyon sa sistema sa tubo. Gawas pa sa katukma sa kagamitan sa produksiyon o pagputli sa gas, kini apektado pag-ayo sa daghang mga hinungdan sa sistema sa tubo. Busa, ang pagpili sa mga tubo kinahanglan nga mosunod sa mga may kalabutan nga prinsipyo sa industriya sa pagputli ug markahan ang materyal sa mga tubo sa mga drowing.

02Ang kamahinungdanon sa mga tubo nga taas og kaputli sa transportasyon sa gas

Ang kamahinungdanon sa mga tubo nga taas og kaputli sa transportasyon sa gas nga taas og kaputli Atol sa proseso sa pagtunaw sa stainless steel, ang matag tonelada makasuhop og mga 200g nga gas. Human maproseso ang stainless steel, dili lang ang nagkalain-laing mga hugaw ang motapot sa ibabaw niini, apan adunay usab pipila ka gas nga masuhop sa metal lattice niini. Kung adunay airflow nga moagi sa pipeline, ang bahin sa gas nga masuhop sa metal mobalik sa airflow ug mohugaw sa puro nga gas.

Kon ang pag-agos sa hangin sa tubo dili padayon, ang tubo moporma og pressure adsorption sa gas nga moagi. Kon ang pag-agos sa hangin mohunong sa pag-agos, ang gas nga masuhop sa tubo moporma og pressure reduction analysis, ug ang gisusi nga gas mosulod usab sa puro nga gas sa tubo isip hugaw.

Sa samang higayon, ang adsorption ug analysis cycle mopahinabo sa metal sa sulod nga bahin sa tubo nga moprodyus og igong gidaghanon sa pulbos. Kining metal nga abog nga partikulo mohugaw usab sa puro nga gas sa tubo. Kini nga kinaiya sa tubo importante kaayo. Aron masiguro ang kaputli sa gidala nga gas, dili lang kinahanglan nga ang sulod nga bahin sa tubo hamis kaayo, apan kinahanglan usab nga kini adunay taas nga resistensya sa pagkaguba.

Kon ang gas adunay kusog nga makadaot sa korosiyon, ang mga tubo nga stainless steel nga dili madaot sa korosiyon kinahanglan gamiton para sa mga tubo. Kon dili, ang mga lama sa korosiyon makita sa sulod nga bahin sa tubo tungod sa korosiyon. Sa grabe nga mga kaso, ang dagkong mga piraso sa metal matangtang o mabuslot, sa ingon mahugawan ang puro nga gas nga gidala.

03Materyal sa tubo

Ang pagpili sa materyal sa tubo kinahanglan pilion sumala sa mga panginahanglan sa paggamit. Ang kalidad sa tubo kasagaran gisukod sumala sa kagaspang sa sulod nga bahin sa tubo. Kon mas ubos ang kagaspang, mas gamay ang posibilidad nga magdala kini og mga partikulo. Kasagaran gibahin kini sa tulo ka klase:

Ang usa maoTubo nga grado sa EP 316L, nga gipasinaw pinaagi sa electrolytically (Electro-Polish). Kini dili madaot sa taya ug adunay ubos nga surface roughness. Ang Rmax (maximum peak to valley height) mga 0.3μm o mas ubos pa. Kini adunay pinakataas nga flatness ug dili dali nga maporma ang micro-eddy currents. Kuhaa ang kontaminado nga mga partikulo. Ang reaction gas nga gigamit sa proseso kinahanglan nga ipaagi sa tubo niini nga lebel.

Ang usa kay usa kaGrado sa BA 316Ltubo, nga gitambalan gamit ang Bright Anneal ug kanunay gigamit para sa mga gas nga nakontak sa chip apan wala moapil sa reaksyon sa proseso, sama sa GN2 ug CDA. Ang usa mao ang AP pipe (Annealing & Picking), nga wala espesyal nga gitambalan ug kasagarang gigamit para sa doble nga set sa gawas nga mga tubo nga wala gigamit isip mga linya sa suplay sa gas.

04 Pagtukod og tubo

Ang pagproseso sa baba sa tubo usa sa mga importanteng punto niining teknolohiya sa konstruksyon. Ang pagputol ug pag-andam daan sa tubo gihimo sa limpyo nga palibot, ug sa samang higayon, giseguro nga walay makadaot nga mga marka o kadaot sa ibabaw sa tubo sa dili pa putlon. Kinahanglan nga andamon ang pag-flush sa nitroheno sa tubo sa dili pa ablihan ang tubo. Sa prinsipyo, ang welding gigamit aron ikonektar ang mga tubo nga taas og kaputli ug kalimpyo sa gas transmission ug distribution nga adunay kusog nga agos, apan dili gitugotan ang direktang welding. Kinahanglan gamiton ang mga casing joint, ug ang materyal sa tubo nga gigamit kinahanglan nga walay pagbag-o sa istruktura atol sa welding. Kung ang materyal nga adunay taas kaayo nga carbon content i-welding, ang air permeability sa welding part hinungdan nga ang gas sa sulod ug gawas sa tubo molusot sa usag usa, nga makadaot sa kaputli, kauga, ug kalimpyo sa conveying gas, nga mosangpot sa seryoso nga mga sangputanan ug makaapekto sa kalidad sa produksiyon.

Sa laktod nga pagkasulti, para sa mga tubo sa transmisyon sa gas nga taas og kaputli ug espesyal nga gas, kinahanglan gamiton ang espesyal nga gitambalan nga taas og kaputli nga stainless steel nga tubo, nga naghimo sa sistema sa tubo sa tubo nga taas og kaputli (lakip ang mga tubo, mga fitting sa tubo, mga balbula, VMB, VMP) nga nag-okupar sa usa ka hinungdanon nga misyon sa pag-apod-apod sa gas nga taas og kaputli.