1. Kahulugan sa Sistema sa Bulk Gas:
Pagtipig ug pagkontrol sa presyur sa mga inert gas Mga klase sa gas: Kasagarang inert gas (nitroheno, argon, compressed air, ug uban pa)
Gidak-on sa tubo: Gikan sa 1/4 (monitoring pipeline) hangtod sa 12-pulgada nga main pipeline
Ang mga nag-unang produkto sa sistema mao ang: diaphragm valve/bellows valve/ball valve, high-purity connector (VCR, welding form), ferrule connector, pressure regulating valve, pressure gauge, ug uban pa.
Sa pagkakaron, ang bag-ong sistema naglakip usab sa usa ka bulk special gas system, nga naggamit ug fixed gas cylinder o tank trucks para sa pagtipig ug transportasyon.
2. Kahulugan sa Sistema sa Pagputli:
Pagtangtang sa mga hugaw gikan sa mga bulk gas para sa mga high-purity gas pipeline
3. Kahulugan sa mga Kabinet nga Gas:
Paghatag og kontrol sa presyur ug pagmonitor sa agos para sa mga espesyal nga tinubdan sa gas (makahilo, dali masunog, reaktibo, ug makadaot nga mga gas), ug adunay abilidad sa pag-ilis sa mga silindro sa gas.
Lokasyon: Nahimutang sa Sub-fab nga salog o sa ubos nga salog para sa pagtipig sa mga espesyal nga gas Tinubdan: NF3, SF6, WF6, ug uban pa.
Gidak-on sa tubo: Internal nga tubo sa gas, kasagaran 1/4 pulgada para sa tubo sa proseso, 1/4-3/8 pulgada para sa tubo sa paglimpyo sa taas nga kaputli sa nitroheno.
Pangunang mga produkto: Mga balbula nga diaphragm nga taas og kaputli, mga check valve, mga pressure gauge, mga pressure gauge, mga konektor nga taas og kaputli (VCR, welding form) Kini nga mga gas cabinet adunay awtomatikong mga kapabilidad sa pag-switch para sa mga silindro aron masiguro ang padayon nga suplay sa gas ug luwas nga pag-ilis sa mga silindro.
4. Kahulugan sa Distribusyon:
Pagkonektar sa tinubdan sa gas ngadto sa gas collection coil
Gidak-on sa Linya: Sa pabrika sa chip, ang gidak-on sa pipeline sa pag-apod-apod sa bulk gas kasagaran gikan sa 1/2 pulgada hangtod 2 pulgada.
Porma sa koneksyon: Ang mga espesyal nga tubo sa gas kasagarang konektado pinaagi sa welding, nga walay bisan unsang mekanikal nga koneksyon o uban pang naglihok nga mga bahin, labi na tungod kay ang koneksyon sa welding adunay lig-on nga kasaligan sa pagsilyo.
Sa usa ka pabrika sa chip, adunay gatusan ka kilometro nga mga tubo nga konektado aron magpadala og gas, nga mga 20 ka tiil ang gitas-on ug gi-welding. Ang ubang mga tubing bends ug tubular welding connections komon usab kaayo.
5. Kahon sa balbula nga multi-function (Valve Manifold Box, VMB) Kahulugan:
Kini aron ipang-apod-apod ang mga espesyal nga gas gikan sa tinubdan sa gas ngadto sa lain-laing mga tumoy sa kagamitan.
Gidak-on sa internal nga tubo: 1/4 pulgada nga proseso sa tubo, ug 1/4 - 3/8 pulgada nga purge pipeline. Ang sistema mahimong mogamit ug kontrol sa kompyuter aron magkinahanglan ug mga balbula nga gipalihok o mas barato nga mga sitwasyon gamit ang mga manwal nga balbula.
Mga produkto sa sistema: mga high purity diaphragm valve/bellows valve, check valve, high purity joints (VCR, micro-welding form), pressure regulating valves, pressure gauges ug pressure gauges, ug uban pa. Para sa pag-apod-apod sa pipila ka inert gases, ang Valve Manifold Panel - VMP (multi-function valve disc) ang kasagarang gigamit, nga adunay bukas nga gas disc surface ug wala magkinahanglan og closed space design ug dugang nitrogen purge.
6. Ikaduhang plaka/kahon sa balbula (Tool Hookup Panel) Kahulugan:
Ikonektar ang gas nga gikinahanglan sa kagamitan sa semiconductor gikan sa tinubdan sa gas ngadto sa tumoy sa kagamitan ug paghatag og katugbang nga regulasyon sa presyur. Kini nga panel usa ka sistema sa pagkontrol sa gas nga mas duol sa tumoy sa kagamitan kaysa sa VMB (multi-function valve box).
Gidak-on sa tubo sa gas: 1/4 - 3/8 pulgada
Gidak-on sa tubo sa likido: 1/2 - 1 pulgada
Gidak-on sa tubo sa pagpagawas: 1/2 - 1 pulgada
Mga Pangunang Produkto: diaphragm valve/bellows valve, one-way valve, pressure regulating valve, pressure gauge, pressure gauge, high-purity joint (VCR, micro-welding), ferrule joint, ball valve, hose, ug uban pa.
Oras sa pag-post: Nob-22-2024