1. Bulk Gas System Kahulugan:
Pagtipig ug pagpugong sa presyur sa mga inert nga gas Mga tipo sa gas: Kasagaran nga mga inert nga gas (nitrogen, argon, compressed air, etc.)
Gidak-on sa pipeline: Gikan sa 1/4 (monitoring pipeline) ngadto sa 12-pulgada nga main pipeline
Ang mga nag-unang produkto sa sistema mao ang: diaphragm valve/bellows valve/ball valve, high-purity connector (VCR, welding form), ferrule connector, pressure regulating valve, pressure gauge, ug uban pa.
Sa pagkakaron, ang bag-ong sistema naglakip usab sa usa ka bulk special gas system, nga naggamit ug fixed gas cylinders o tank trucks alang sa pagtipig ug transportasyon.
2. Kahulugan sa Sistema sa Pagputli:
Pagtangtang sa mga hugaw gikan sa daghang mga gas alang sa high-purity gas pipelines
3. Kahulugan sa Gas Cabinets:
Paghatag ug pagkontrol sa presyur ug pagmonitor sa dagan alang sa mga espesyal nga gigikanan sa gas (makahilo, masunog, reaktibo, makadaut nga mga gas), ug adunay katakus nga ilisan ang mga silindro sa gas.
Lokasyon: Nahimutang sa Sub-fab nga salog o sa ubos nga andana para sa pagtipig sa mga espesyal nga gas Tinubdan: NF3, SF6, WF6, ug uban pa.
Gidak-on sa pipeline: Internal nga gas pipeline, kasagaran 1/4 ka pulgada alang sa proseso sa pipeline, 1/4-3/8 ka pulgada nga nag-una alang sa taas nga purity nitrogen purge pipeline.
Panguna nga mga produkto: Taas nga purity diaphragm valves, check valves, pressure gauge, pressure gauge, high purity connectors (VCR, welding form) Kini nga mga gas cabinet sa batakan naglangkob sa automatic switching kapabilidad alang sa mga cylinders aron masiguro ang padayon nga suplay sa gas ug luwas nga pag-ilis sa mga silindro.
4. Kahulugan sa Distribusyon:
Pagkonektar sa tinubdan sa gas ngadto sa gas collection coil
Gidak-on sa linya: Sa pabrika sa chip, ang gidak-on sa bulk gas distribution pipeline kasagaran gikan sa 1/2 pulgada ngadto sa 2 pulgada.
Koneksyon nga porma: Espesyal nga gas pipelines kasagaran konektado pinaagi sa welding, walay bisan unsa nga mekanikal nga koneksyon o uban pang mga nagalihok nga mga bahin, nag-una tungod kay ang welding koneksyon adunay lig-on nga sealing kasaligan.
Sa usa ka pabrika sa chip, adunay gatusan ka kilometro nga tubing nga konektado sa pagpadala sa gas, nga kasagaran mga 20 ka tiil ang gitas-on ug gihiusa. Ang ubang mga tubing bends ug tubular welding koneksyon komon usab kaayo.
5. Multi-function valve box (Valve Manifold Box, VMB) Depinisyon:
Kini mao ang pag-apod-apod sa mga espesyal nga gas gikan sa gigikanan sa gas ngadto sa lainlaing mga tumoy sa kagamitan.
Gidak-on sa internal nga pipeline: 1/4 pulgada nga pipeline sa proseso, ug 1/4 - 3/8 pulgada nga pipeline sa paglimpyo. Mahimong gamiton sa sistema ang pagkontrol sa kompyuter aron mangayo og mga gipalihok nga balbula o mas mubu nga mga sitwasyon nga adunay mga manual nga balbula.
Mga produkto sa sistema: taas nga purity diaphragm valves/bellows valves, check valves, high purity joints (VCR, micro-welding form), pressure regulating valves, pressure gauge ug pressure gauge, ug uban pa. - Ang VMP (multi-function valve disc) kay kasagarang gigamit, nga naay open gas disc surface ug wala magkinahanglan ug closed space design ug dugang nitrogen purge.
6. Secondary valve plate/box (Tool Hookup Panel) Depinisyon:
Ikonektar ang gas nga gikinahanglan sa mga kagamitan sa semiconductor gikan sa tinubdan sa gas ngadto sa katapusan sa ekipo ug paghatag ug katugbang nga regulasyon sa presyur. Kini nga panel usa ka sistema sa pagkontrol sa gas nga mas duol sa katapusan sa kagamitan kaysa sa VMB (multi-function valve box).
Gas pipeline gidak-on: 1/4 - 3/8 pulgada
Gidak-on sa pipeline sa likido: 1/2 - 1 pulgada
Discharge pipeline gidak-on: 1/2 - 1 pulgada
Panguna nga mga produkto: diaphragm valve/bellows valve, one-way valve, pressure regulating valve, pressure gauge, pressure gauge, high-purity joint (VCR, micro-welding), ferrule joint, ball valve, hose, ug uban pa.
Oras sa pag-post: Nob-22-2024