Ang 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory usa ka mayor nga proyekto sa konstruksyon sa industriya sa elektroniko sa akong nasud sa panahon sa Ikasiyam nga Lima ka Tuig nga Plano aron makahimo og mga chips nga adunay gilapdon sa linya nga 0.18 microns ug diameter nga 200 mm.
Ang teknolohiya sa paghimo sa dako kaayo nga integrated circuits dili lamang naglangkit sa mga high-precision nga teknolohiya sama sa micro-machining, apan nagbutang usab og taas nga mga kinahanglanon sa kaputli sa gas.
Ang kinabag-an nga suplay sa gas alang sa Project 909 gihatag sa usa ka joint venture tali sa Praxair Utility Gas Co., Ltd. sa Estados Unidos ug mga hingtungdan nga partido sa Shanghai aron dungan nga magtukod og planta sa produksiyon sa gas. Ang planta sa produksiyon sa gas kasikbit sa pabrika sa proyekto sa 909 building, nga naglangkob sa usa ka dapit sa gibana-bana nga 15,000 square meters. Ang kaputli ug mga kinahanglanon sa output sa lainlaing mga gas
Ang high-purity nitrogen (PN2), nitrogen (N2), ug high-purity oxygen (PO2) gihimo pinaagi sa air separation. Ang high-purity hydrogen (PH2) gihimo pinaagi sa electrolysis. Ang Argon (Ar) ug helium (He) gipalit gikan sa gawas. Ang quasi-gas giputli ug gisala aron magamit sa Project 909. Espesyal nga gas ang gihatag sa mga botelya, ug ang gas bottle cabinet nahimutang sa auxiliary workshop sa integrated circuit production plant.
Ang ubang mga gas naglakip usab sa limpyo nga uga nga compressed air CDA system, nga adunay gidaghanon sa paggamit nga 4185m3/h, usa ka pressure dew point nga -70°C, ug usa ka partikulo nga gidak-on nga dili molapas sa 0.01um sa gas sa punto sa paggamit. Sistema sa pagginhawa sa compressed air (BA), gidaghanon sa paggamit 90m3/h, pressure dew point 2 ℃, gidak-on sa partikulo sa gas sa punto sa paggamit dili labaw sa 0.3um, sistema sa vacuum (PV) sa proseso, gidaghanon sa paggamit 582m3/h, vacuum degree sa punto sa paggamit -79993Pa. Paglimpyo sa vacuum (HV) nga sistema, gidaghanon sa paggamit nga 1440m3 / h, vacuum degree sa punto sa paggamit -59995 Pa. Ang air compressor room ug vacuum pump room pareho nga nahimutang sa 909 project factory area.
Pagpili sa mga materyales sa tubo ug mga accessories
Ang gas nga gigamit sa produksiyon sa VLSI adunay labi ka taas nga kinahanglanon sa kalimpyo.Taas nga kaputli sa mga pipeline sa gaskasagaran gigamit sa limpyo nga mga palibot sa produksiyon, ug ang ilang pagkontrol sa kalimpyo kinahanglan nga nahiuyon sa o mas taas kaysa sa lebel sa kalimpyo sa wanang nga gigamit! Dugang pa, ang high-purity nga mga pipeline sa gas sagad gigamit sa limpyo nga mga palibot sa produksiyon. Ang lunsay nga hydrogen (PH2), high-purity oxygen (PO2) ug pipila ka mga espesyal nga gas mga masunog, pabuto, pagsuporta sa pagkasunog o makahilo nga mga gas. Kung ang sistema sa pipeline sa gas dili husto nga gidisenyo o ang mga materyales dili husto nga gipili, dili lamang ang kaputli sa gas nga gigamit sa gas point mokunhod, apan kini usab mapakyas. Nagtagbo kini sa mga kinahanglanon sa proseso, apan dili kini luwas nga gamiton ug mahimong hinungdan sa polusyon sa limpyo nga pabrika, nga makaapekto sa kaluwasan ug kalimpyo sa limpyo nga pabrika.
Ang garantiya sa kalidad sa high-purity gas sa punto sa paggamit dili lamang nagdepende sa katukma sa produksiyon sa gas, kagamitan sa pagputli ug mga pagsala, apan apektado usab sa daghang mga hinungdan sa sistema sa pipeline. Kung magsalig kita sa mga kagamitan sa produksiyon sa gas, kagamitan sa pagputli ug mga pagsala Dili sakto ang pagpahamtang sa walay katapusan nga mas taas nga mga kinahanglanon sa katukma aron mabayran ang dili husto nga disenyo sa sistema sa tubo sa gas o pagpili sa materyal.
Atol sa proseso sa pagdesinyo sa 909 nga proyekto, gisunod namo ang "Code for Design of Clean Plants" GBJ73-84 (ang kasamtangan nga sumbanan mao ang (GB50073-2001)), "Code for Design of Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code alang sa Disenyo sa Oxygen Stations" GB50030-91 , "Code for Design of Hydrogen and Oxygen Stations" GB50177-93, ug may kalabutan nga teknikal nga mga lakang alang sa pagpili sa pipeline nga mga materyales ug accessories. Ang "Code for Design of Clean Plants" naglatid sa pagpili sa mga materyales sa pipeline ug mga balbula sama sa mosunod:
(1) Kon ang gas kaputli mao ang mas dako pa kay sa o katumbas sa 99.999% ug ang yamog punto mao ang ubos pa kay sa -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti ubos-carbon stainless steel pipe (316L) uban sa electropolished sulod nga kuta o OCr18Ni9 stainless steel pipe (304) uban sa electropolished sulod nga kuta kinahanglan nga gamiton. Ang balbula kinahanglan nga usa ka diaphragm valve o bellows valve.
(2) Kon ang gas kaputli mao ang mas dako pa kay sa o katumbas sa 99.99% ug ang yamog punto mao ang ubos pa kay sa -60 °C, OCr18Ni9 stainless steel tube (304) uban sa electropolished sulod nga kuta kinahanglan nga gamiton. Gawas sa mga balbula sa bellows nga kinahanglan gamiton alang sa masunog nga mga pipeline sa gas, ang mga balbula sa bola kinahanglan gamiton alang sa ubang mga linya sa gas.
(3) Kung ang tun-og sa uga nga compressed air mas ubos kaysa -70 °C, OCr18Ni9 stainless steel pipe (304) nga adunay gipasinaw nga sulud nga dingding kinahanglan gamiton. Kung ang tun-og mas ubos kay sa -40 ℃, OCr18Ni9 stainless steel pipe (304) o hot-dip galvanized seamless steel pipe kinahanglan gamiton. Ang balbula kinahanglan nga usa ka balbula sa bellows o balbula sa bola.
(4) Ang materyal nga balbula kinahanglan nga nahiuyon sa materyal nga nagkonektar sa tubo.
Sumala sa mga kinahanglanon sa mga detalye ug may kalabutan nga teknikal nga mga lakang, panguna nga gikonsiderar namon ang mga mosunud nga aspeto kung nagpili mga materyales sa pipeline:
(1) Ang air permeability sa mga materyales sa tubo kinahanglan nga gamay. Ang mga tubo sa lain-laing mga materyales adunay lain-laing mga air permeability. Kung gipili ang mga tubo nga adunay mas daghang air permeability, ang polusyon dili makuha. Ang mga tubo nga stainless steel ug mga tubo nga tumbaga mas maayo sa pagpugong sa pagsulod ug kaagnasan sa oxygen sa atmospera. Bisan pa, tungod kay ang mga tubo nga stainless steel dili kaayo aktibo kaysa mga tubo nga tumbaga, ang mga tubo nga tumbaga mas aktibo sa pagtugot sa kaumog sa atmospera nga motuhop sa ilang sulud nga sulud. Busa, sa diha nga ang pagpili sa mga tubo alang sa high-purity gas pipelines, stainless steel pipe kinahanglan nga ang unang pagpili.
(2) Ang sulud nga sulud sa materyal nga tubo gi-adsorbed ug adunay gamay nga epekto sa pag-analisar sa gas. Human maproseso ang stainless steel pipe, usa ka piho nga kantidad sa gas ang magpabilin sa metal nga lattice niini. Kung moagi ang high-purity nga gas, kini nga bahin sa gas mosulod sa agos sa hangin ug magpahinabog polusyon. Sa parehas nga oras, tungod sa adsorption ug pagtuki, ang metal sa sulud nga sulud sa tubo maghimo usab usa ka piho nga kantidad sa pulbos, hinungdan sa polusyon sa taas nga kaputli nga gas. Alang sa mga sistema sa tubo nga adunay kaputli nga labaw sa 99.999% o lebel sa ppb, ang 00Cr17Ni12Mo2Ti nga low carbon stainless steel pipe (316L) kinahanglan gamiton.
(3) Ang pagsukol sa pagsul-ob sa mga stainless steel pipe mas maayo kaysa sa mga tubo nga tumbaga, ug ang metal nga abog nga namugna sa pagbanlas sa agianan sa hangin medyo gamay. Ang mga workshop sa produksiyon nga adunay mas taas nga mga kinahanglanon alang sa kalimpyo mahimong mogamit sa 00Cr17Ni12Mo2Ti nga ubos nga carbon stainless steel pipe (316L) o OCr18Ni9 stainless steel pipe (304), ang mga tubo nga tumbaga dili gamiton.
(4) Alang sa mga sistema sa tubo nga adunay kaputli sa gas nga labaw sa 99.999% o lebel sa ppb o ppt, o sa limpyo nga mga lawak nga adunay lebel sa kalimpyo sa hangin nga N1-N6 nga gitakda sa "Limpyo nga Kodigo sa Disenyo sa Pabrika", mga ultra-limpyo nga tubo oEP ultra-limpyo nga mga tubokinahanglan gamiton. Limpyo ang "limpyo nga tubo nga adunay ultra-smooth nga sulud sa sulud".
(5) Ang pipila sa mga espesyal nga sistema sa pipeline sa gas nga gigamit sa proseso sa produksiyon mga labi ka makadaot nga mga gas. Ang mga tubo sa niini nga mga sistema sa pipeline kinahanglan nga mogamit sa mga corrosion-resistant nga stainless steel nga mga tubo ingon mga tubo. Kay kon dili, ang mga tubo madaot tungod sa corrosion. Kung adunay mga corrosion spots sa ibabaw, ang ordinaryo nga seamless steel pipe o galvanized welded steel pipe dili gamiton.
(6) Sa prinsipyo, ang tanan nga koneksyon sa pipeline sa gas kinahanglan nga welded. Tungod kay ang welding sa galvanized steel pipe makaguba sa galvanized layer, ang galvanized steel pipe wala gigamit alang sa mga tubo sa limpyo nga mga lawak.
Gikonsiderar ang mga hinungdan sa ibabaw, ang mga tubo sa pipeline sa gas ug mga balbula nga gipili sa proyekto sa &7& mao ang mga musunud:
Ang high-purity nitrogen (PN2) nga mga tubo sa sistema gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipe (316L) nga adunay electropolish nga mga bungbong sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows valves sa samang materyal.
Ang nitrogen (N2) nga mga tubo sa sistema gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipes (316L) nga adunay electropolish nga mga bungbong sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows nga mga balbula sa parehas nga materyal.
Ang high-purity hydrogen (PH2) nga mga tubo sa sistema gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipe (316L) nga adunay electropolish nga mga bungbong sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows valves sa samang materyal.
Ang high-purity oxygen (PO2) nga mga tubo sa sistema gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipe (316L) nga adunay electro-pinasinaw nga sulod nga mga bungbong, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows valves sa samang materyal.
Ang mga tubo sa sistema sa Argon (Ar) gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti nga low-carbon nga stainless steel pipe (316L) nga adunay electropolish nga mga dingding sa sulod, ug gigamit ang mga stainless steel bellows nga mga balbula sa parehas nga materyal.
Ang mga tubo sa sistema sa helium (He) gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipe (316L) nga adunay electropolish nga mga dingding sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa mga stainless steel bellows nga mga balbula sa parehas nga materyal.
Ang limpyo nga uga nga compressed air (CDA) nga mga tubo sa sistema gihimo sa OCr18Ni9 stainless steel pipe (304) nga adunay gipasinaw nga mga bungbong sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows nga mga balbula sa samang materyal.
Ang breathing compressed air (BA) nga mga tubo sa sistema gihimo sa OCr18Ni9 stainless steel pipe (304) nga adunay gipasinaw nga mga bungbong sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel ball valves sa samang materyal.
Ang proseso nga vacuum (PV) nga mga tubo sa sistema gihimo sa mga tubo nga UPVC, ug ang mga balbula gihimo sa mga vacuum butterfly valve nga hinimo sa parehas nga materyal.
Ang mga tubo sa sistema sa paglimpyo sa vacuum (HV) gihimo sa mga tubo nga UPVC, ug ang mga balbula gihimo sa mga vacuum butterfly valve nga hinimo sa parehas nga materyal.
Ang mga tubo sa espesyal nga sistema sa gas ang tanan gihimo sa 00Cr17Ni12Mo2Ti low-carbon stainless steel pipe (316L) nga adunay electropolish nga mga dingding sa sulod, ug ang mga balbula gihimo sa stainless steel bellows nga mga balbula sa parehas nga materyal.
3 Pagtukod ug pag-instalar sa mga pipeline
3.1 Ang Seksyon 8.3 sa “Limpiyo nga Kodigo sa Disenyo sa Pagtukod sa Pabrika” naglatid sa mosunod nga mga probisyon alang sa mga koneksyon sa pipeline:
(1) Ang mga koneksyon sa tubo kinahanglan nga welded, apan ang hot-dip galvanized steel pipe kinahanglan nga hilo.
(2) Ang mga tubo nga stainless steel kinahanglan nga konektado pinaagi sa argon arc welding ug butt welding o socket welding, apan ang high-purity gas pipelines kinahanglan nga konektado pinaagi sa butt welding nga walay marka sa sulod nga bungbong.
(3) Ang koneksyon tali sa mga pipeline ug mga ekipo kinahanglan nga mosunod sa mga kinahanglanon sa koneksyon sa mga ekipo.Sa diha nga ang paggamit sa mga koneksyon sa hose, metal hoses kinahanglan nga gamiton
(4) Ang koneksyon tali sa mga pipeline ug mga balbula kinahanglan nga mosunod sa mosunod nga mga regulasyon
① Ang sealing material nga nagkonektar sa high-purity gas pipelines ug valves kinahanglang mogamit ug metal gaskets o double ferrules sumala sa mga kinahanglanon sa proseso sa produksyon ug gas nga mga kinaiya.
②Ang materyal nga sealing sa sinulid o flange nga koneksyon kinahanglan nga polytetrafluoroethylene.
3.2 Sumala sa mga kinahanglanon sa mga detalye ug may kalabutan nga teknikal nga mga lakang, ang koneksyon sa high-purity gas pipelines kinahanglan nga welded kutob sa mahimo. Ang direkta nga butt welding kinahanglan likayan sa panahon sa welding. Ang mga bukton sa tubo o nahuman nga mga lutahan kinahanglan gamiton. Ang mga bukton sa tubo kinahanglan nga hinimo sa parehas nga materyal ug kahapsay sa sulud sa sulud sama sa mga tubo. lebel, sa panahon sa welding, aron mapugngan ang oksihenasyon sa welding nga bahin, ang purong protective gas kinahanglan nga ipaila sa welding pipe. Alang sa mga tubo nga stainless steel, ang argon arc welding kinahanglan gamiton, ug ang argon gas nga parehas nga kaputli kinahanglan ipaila sa tubo. Ang sinulid nga koneksyon o sinulid nga koneksyon kinahanglan gamiton. Kung magkonektar sa mga flanges, ang mga ferrules kinahanglan gamiton alang sa mga sinulud nga koneksyon. Gawas sa mga tubo sa oxygen ug mga tubo sa hydrogen, nga kinahanglan mogamit mga gasket nga metal, ang ubang mga tubo kinahanglan mogamit mga gasket nga polytetrafluoroethylene. Ang pagbutang og gamay nga silicone rubber sa mga gasket epektibo usab. Pauswaga ang epekto sa pagbugkos. Ang parehas nga mga lakang kinahanglan himuon kung ang mga koneksyon sa flange gihimo.
Sa wala pa magsugod ang trabaho sa pag-instalar, usa ka detalyado nga visual inspeksyon sa mga tubo,mga gamit, mga balbula, ug uban pa kinahanglan ipatuman. Ang sulod nga bungbong sa ordinaryo nga stainless steel pipe kinahanglan nga pickled sa dili pa instalar. Ang mga tubo, mga kasangkapan, mga balbula, ug uban pa sa mga pipeline sa oxygen kinahanglan nga hugot nga gidili gikan sa lana, ug kinahanglan nga higpit nga degreased sumala sa may kalabutan nga mga kinahanglanon sa dili pa i-install.
Sa dili pa i-install ang sistema ug gamiton, ang transmission ug distribution pipeline system kinahanglan nga hingpit nga limpyohan sa gihatag nga high-purity gas. Kini dili lamang naghuyop sa mga partikulo sa abog nga aksidenteng nahulog sa sistema sa panahon sa proseso sa pag-instalar, apan nagdula usab sa usa ka papel sa pagpa-uga sa sistema sa pipeline, nga nagtangtang sa bahin sa gas nga adunay kaumog nga masuhop sa bungbong sa tubo ug bisan ang materyal sa tubo.
4. Pipeline pressure test ug pagdawat
(1) Human ma-install ang sistema, ang 100% nga radiographic inspeksyon sa mga tubo nga nagdala sa labi ka makahilo nga mga likido sa espesyal nga mga pipeline sa gas kinahanglan himuon, ug ang kalidad niini dili ubos sa Level II. Ang ubang mga tubo kinahanglang ipailalom sa sampling radiographic inspection, ug ang sampling inspection ratio dili mokubos sa 5 %, ang kalidad dili ubos sa grade III.
(2) Human sa pagpasa sa dili makadaot nga inspeksyon, usa ka pagsulay sa presyur kinahanglan nga himuon. Aron masiguro ang pagkauga ug kalimpyo sa sistema sa tubo, ang usa ka pagsulay sa presyur sa hydraulic dili kinahanglan himuon, apan ang usa ka pagsulay sa presyur sa pneumatic kinahanglan gamiton. Ang pagsulay sa presyur sa hangin kinahanglan himuon gamit ang nitrogen o compressed nga hangin nga katumbas sa lebel sa kalimpyo sa limpyo nga kwarto. Ang presyur sa pagsulay sa pipeline kinahanglan nga 1.15 ka beses ang presyur sa disenyo, ug ang presyur sa pagsulay sa vacuum pipeline kinahanglan nga 0.2MPa. Atol sa pagsulay, ang presyur kinahanglan nga anam-anam ug hinayhinay nga madugangan. Kung ang presyur mosaka sa 50% sa presyur sa pagsulay, kung wala’y nakit-an nga abnormalidad o pagtulo, padayon nga dugangan ang presyur nga lakang sa lakang sa 10% sa presyur sa pagsulay, ug i-stabilize ang presyur sa 3 minuto sa matag lebel hangtod sa presyur sa pagsulay. . Palig-ona ang presyur sulod sa 10 ka minuto, dayon pakunhuran ang presyur sa presyur sa disenyo. Ang oras sa paghunong sa presyur kinahanglan nga matino sumala sa mga panginahanglanon sa pag-ila sa pagtulo. Kwalipikado ang foaming agent kung walay leakage.
(3) Human ang vacuum system moagi sa pressure test, kini kinahanglan usab nga magpahigayon sa usa ka 24-oras nga vacuum degree test sumala sa mga dokumento sa disenyo, ug ang pressure rate kinahanglan dili molapas sa 5%.
(4) Pagsulay sa pagtulo. Alang sa ppb ug ppt nga mga sistema sa pipeline nga grado, sumala sa may kalabutan nga mga detalye, walay leakage ang kinahanglan isipon nga kwalipikado, apan ang leakage amount test gigamit sa panahon sa disenyo, nga mao, ang leakage amount test gihimo human sa air tightness test. Ang presyur mao ang presyur sa pagtrabaho, ug ang presyur gipahunong sulod sa 24 ka oras. Ang kasagaran nga matag oras nga pagtulo mas ubos o katumbas sa 50ppm ingon nga kwalipikado. Ang kalkulasyon sa leakage mao ang mosunod:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Sa pormula:
Usa ka oras nga pagtulo (%)
P1 - Hingpit nga presyur sa pagsugod sa pagsulay (Pa)
P2 - Hingpit nga presyur sa katapusan sa pagsulay (Pa)
T1-hingpit nga temperatura sa sinugdanan sa pagsulay (K)
T2-hingpit nga temperatura sa katapusan sa pagsulay (K)
Oras sa pag-post: Dis-12-2023